发明名称 太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)检测方法及其系统
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.06.11
申请号 TW096122378 申请日期 2007.06.21
申请人 东祥科技股份有限公司 发明人 陈庆全;连震杰
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人 石继志 高雄市左营区明诚二路332号7楼之3
主权项 一种太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)检测方法,系利用光学影像撷取装置,撷取该太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)之影像,取得撷取之影像部位后,利用影像自动辨识软体以及常态影像资料库比对,并以处理器进行检测之处理,并显示检测结果;其系针对成叠设之复数太阳能电池晶圆经由:A、装置定位;B、撷取叠合之复数太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)X轴(侧向)影像;C、该影像自动辨识软体为一种计量影像自动辨识软体,经由计量影像自动辨识软体判断影像叠合所代表之数量。如申请专利范围第1项所述之太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)检测方法,其特征在于该B步骤之后,增加利用虚拟打光强化影像对比。如申请专利范围第1项所述之太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)检测方法,其特征在于叠合之复数太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer),其系由250±10片叠合。一种太阳能电池(Solar Cell)或其晶圆(Wafer)检测系统,包括:一光学影像撷取装置:设于检测平台之邻边;一检测平台:与光学影像撷取装置形成对应;一影像处理单元:连接该光学影像撷取装置,该影像处理单元包括一影像自动辨识软体,一常态影像资料库以及一处理器,藉由常态影像资料库与撷取影像,经由处理器比对与判断影像意义;其特征在于该影像处理软体以及常态影像资料库选自:A、计量影像自动辨识软体与常态计量资料库。
地址 台南市东区崇明路607号1楼