| 主权项 |
一种气体供给集合单元，包括：设置于出口流路的第一手动阀、设置于连通该第一手动阀和制程气体共通流路之位置的气动阀、设置于连通该第一手动阀和气提气体共通流路之位置的第二手动阀及复数个藉由流路区块及单元固定板连结成一整个直列的气体单元，其特征在于包括：支持构件，其剖面为ㄇ字型且嵌合上述流路区块及单元固定板；及平面加热器，其以夹在上述支持构件、上述流路区块及上述单元固定板之间的方式来固定。如申请专利范围第1项之气体供给集合单元，其中，上述气体单元嵌合至上述支持构件，具有缔结之导轨、夹在上述支持构件和上述导轨之间的板状之隔板构件。如申请专利范围第1项之气体供给集合单元，其中，包括：一个或两个以上的平面加热器，其连接至上述气体单元的底面而配置；支持构件，其支持上述平面加热器；及支持构件固定板，其将上述平面加热器夹在上述支持构件、上述流路区块及上述单元固定板之间，以固定支持构件。 |
