| 摘要 |
1. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, включающего в себя эмитирующий электроны элемент, который включает в себя структуру, содержащую металл, и лежащий поверх этой структуры слой с низкой работой выхода, выполненный из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода этого металла, и который осуществляет автоэлектронную эмиссию с поверхности, причем способ содержит: ! обеспечение структуры, содержащей металл, на которой был сформирован слой оксида металла, содержащий оксид того же металла, что и металл, содержащийся в этой структуре; и ! обеспечение слоя с низкой работой выхода на слое оксида металла. ! 2. Способ по п.1, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана. ! 3. Способ по п.2, в котором слой оксида металла содержит лантан. ! 4. Способ по п.3, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода. ! 5. Способ по п.4, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана. ! 6. Способ по п.1, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана. ! 7. Способ по п.1, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана. ! 8. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, содержащий: ! формирование электропроводной пленки, содержащей металл, на изолирующем слое, имеющем угловую часть и боковую поверхность, соединенную с угловой частью, и верхнюю поверхность, таким образом, что электропроводная пленка простирается по боковой поверхности и верхней поверхности изолирующего слоя и частично покрывает угловую часть; ! тра |
