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发明名称 Method for manufacturing semiconductor device having recess channel
摘要
申请公布号 KR101039142(B1) 申请公布日期 2011.06.03
申请号 KR20080132694 申请日期 2008.12.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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