发明名称 Device and Method for growing thin film single crystals of nitride semiconductors
摘要
申请公布号 KR101038767(B1) 申请公布日期 2011.06.03
申请号 KR20090090395 申请日期 2009.09.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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