发明名称 研磨装置
摘要
申请公布号 TWI342815 申请公布日期 2011.06.01
申请号 TW094111670 申请日期 2005.04.13
申请人 精密研磨股份有限公司 发明人 佐藤觉;田村淳;渡边淳
分类号 B24B9/00;B24B21/10;B24B41/04 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种研磨装置,系藉由胶带体进行研磨的研磨装置,其特征在于具备有:使胶带体与被研磨体接触的研磨头;可移动地设置于该研磨头,用来将上述胶带体按押在上述被研磨体的衬垫手段;沿着上述胶带体与上述被研磨体之接触部分的方向,与上述研磨头连结的旋转轴;为了使上述研磨头以上述旋转轴的轴线为中心旋转、及沿着其轴线,使上述研磨头来回移动之旋转及来回移动手段;以及支持上述被研磨体且对于上述被研磨体的面,朝垂直方向上来回移动之移动手段;上述移动手段系包含用来调节上述胶带体与上述被研磨体之面的接触部分,使上述被研磨体与其面相对设为可平行地移动的装置、及在其中心使上述被研磨体旋转的旋转装置,上述旋转装置具有:利用旋转驱动部旋转的旋转轴部、及将该旋转轴部收纳于中央且具有用来支持上述被研磨体的支持面之旋转支持部,上述旋转支持部对于上述旋转轴部,虽一起旋转,但可沿着轴线上移动地与上述旋转轴扣合,在研磨上述被研磨体的面时,藉由上述旋转及来回移动手段旋转上述研磨头,并且藉由上述移动手段移动上述被研磨体,俾使上述衬垫移动至外侧使上述胶带体突出,且使已突出的胶带体与上述被研磨体的面相接。如申请专利范围第1项之研磨装置,其中,设置有与上述旋转支持部的底部扣合,用来使上述旋转支持部对于上述支持面,朝垂直方向来回移动之第一移动手段。如申请专利范围第2项之研磨装置,其中,上述第一移动手段由与上述底部扣合之凸轮、及使该凸轮旋转的旋转驱动部所构成。一种研磨装置,系藉由胶带体进行研磨的研磨装置,其特征在于具备有:使胶带体与被研磨体接触的研磨头;可移动地设置于该研磨头,用来将上述胶带体按押在上述被研磨体的衬垫手段;沿着上述胶带体与上述被研磨体之接触部分的方向,与上述研磨头连结的旋转轴;为了使上述研磨头以上述旋转轴的轴线为中心旋转、及沿着其轴线,使上述研磨头来回移动之旋转及来回移动手段;以及支持上述被研磨体且对于上述被研磨体的面,朝垂直方向上来回移动之移动手段;上述移动手段系包含用来调节上述胶带体与上述被研磨体之面的接触部分,使上述被研磨体与其面相对设为可平行地移动的装置,上述旋转及来回移动手段具有:在中央收纳上述旋转轴,并藉由旋转驱动部可旋转的旋转部,上述旋转部虽朝轴线方向可移动地收纳上述旋转轴,但与上述旋转轴一起旋转,在上述旋转轴上设置有朝其轴线方向来回移动上述旋转轴用的第二移动手段,在研磨上述被研磨体的面时,藉由上述旋转及来回移动手段旋转上述研磨头,并且藉由上述移动手段移动上述被研磨体,俾使上述衬垫移动至外侧使上述胶带体突出,且使已突出的胶带体与上述被研磨体的面相接。如申请专利范围第4项之研磨装置,其中,上述第二移动手段具有:在上述旋转轴不可沿着其轴线移动,但可旋转自如地被设置的两片旋转板;在该旋转板之间位于与两方的旋转板相接之位置的凸轮;以及使该凸轮旋转的旋转驱动部。一种研磨装置,系藉由胶带体进行研磨的研磨装置,其特征在于具备有:使胶带体与被研磨体接触的研磨头;可移动地设置于该研磨头,用来将上述胶带体按押在上述被研磨体的衬垫手段;沿着上述胶带体与上述被研磨体之接触部分的方向,与上述研磨头连结的旋转轴;为了使上述研磨头以上述旋转轴的轴线为中心旋转、及沿着其轴线,使上述研磨头来回移动之旋转及来回移动手段;以及支持上述被研磨体且对于上述被研磨体的面,朝垂直方向上来回移动之移动手段;上述移动手段系包含用来调节上述胶带体与上述被研磨体之面的接触部分,使上述被研磨体与其面相对设为可平行地移动的装置,上述研磨头包含两片平行的板、及可旋转地支持于其间的辊子,上述胶带体在上述辊子上成为移动自如,上述衬垫手段藉由设置于上述板的汽缸而可移动,在研磨上述被研磨体的面时,藉由上述旋转及来回移动手段旋转上述研磨头,并且藉由上述移动手段移动上述被研磨体,俾使上述衬垫移动至外侧使上述胶带体突出,且使已突出的胶带体与上述被研磨体的面相接。
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