主权项 |
一种晶圆承载盘,包括:一石英基板,其上表面可供放置至少一晶圆;以及复数复合矽柱,其系垂直连接于该石英基板上表面,并环设于该晶圆周围,使该等复合矽柱与该石英基板形成至少一容置空间,以供容置该晶圆,且每一该复合矽柱之结构系为一矽柱外表面设有一二氧化矽层。如申请专利范围第1项所述之晶圆承载盘,其中该等复合矽柱系包含有至少四个该复合矽柱,分别垂直连接于该石英基板表面,以形成该容置空间。如申请专利范围第1项所述之晶圆承载盘,其中该等复合矽柱之数量为至少六个该复合矽柱时,可利用共用之该复合矽柱来形成至少二个该容置空间。 |