晶舟结构

主权项

一种晶舟结构，包括：一石英基板，其上可供放置至少一晶圆；以及复数复合矽柱，其系垂直连接于该石英基板表面，并环设于该晶圆周围，使该等复合矽柱与该石英基板形成至少一承载空间，以供容置该晶圆，且每一该复合矽柱之结构系为一矽柱外表面设有一碳化矽层。如申请专利范围第1项所述之晶舟结构，其中该等复合矽柱系包含有至少四个该复合矽柱，分别垂直连接于该石英基板表面，以形成该承载空间。如申请专利范围第1项所述之晶舟结构，其中该等复合矽柱之数量为至少六个该复合矽柱时，可利用共用之该复合矽柱来形成至少二个该承载空间。