| 主权项 |
一种多轴真空马达组合，包括：一第一转子；一第一定子，用于穿过一真空阻挡件与该第一转子磁耦合，从而控制在真空室内的机器人臂的第一轴的转动；一第二转子，位于该第一转子下方；一第二定子，位于第一定子下方且用于穿过该真空阻挡件与第二转子磁耦合，从而控制在该真空室内的机器人臂的第二轴的转动；一第一回馈装置，位于真空阻挡件的大气侧且用于经由穿过真空阻挡件的一第一被动磁耦合来监控机器人臂的第一轴的转动，该第一被动磁耦合包括位于该真空阻挡件的一真空侧之一第一被动转子磁耦合，以及位于该真空阻挡件的一大气侧，且耦接至该第一回馈装置之一第二被动转子磁耦合；及一第二回馈装置，位于真空阻挡件的大气侧且用于经由穿过真空阻挡件的一第二被动磁耦合来监控机器人臂的第二轴的转动，该第二被动磁耦合包括位于该真空阻挡件的该真空侧之一第三被动转子磁耦合，以及位于该真空阻挡件的该大气侧，且耦接至该第二回馈装置之一第四被动转子磁耦合。根据申请专利范围第1项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子位于真空阻挡件的大气侧。根据申请专利范围第2项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子系垂直排列。根据申请专利范围第2项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子系直接固定于真空阻挡件上，而该第一定子及该第二定子与该真空阻挡件之间无空气间隙(air gap)。根据申请专利范围第1项所述的多轴真空马达组合，其中第一定子的整流(commutation)可控制穿过真空阻挡件的第一转子的转动。根据申请专利范围第1项所述的多轴真空马达组合，其中第二定子的整流可控制穿过真空阻挡件的第二转子的转动。根据申请专利范围第1项所述的多轴真空马达组合，其中第一定子与第一转子位于同一水平面内。根据申请专利范围第1项所述的多轴真空马达组合，其中第一定子、第二定子、第一回馈装置与第二回馈装置的排列不会伸入到真空室底部的下方。一种多轴真空马达组合包括：一第一转子；一第一定子，用于整流以穿过真空阻挡件转动第一转子及控制一真空室内的机器人臂的第一轴的转动；一第二转子，位于第一转子下方；一第二定子，位于第一定子下方且用于整流以穿过真空阻挡件转动第二转子及控制真空室内的机器人臂的第二轴的转动；一第一被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的一真空侧；一第二被动转子磁耦合，其穿过该真空阻挡件磁耦接至该第一被动转子磁耦合，且该第二被动转子磁耦合位于该真空阻挡件的一大气侧；一第一回馈装置，用于监控机器人臂的第一轴的转动，该第一回馈装置耦接于该第二被动转子磁耦合且位于该真空阻挡件的该大气侧；一第三被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的该真空侧；一第四被动转子磁耦合，其穿过该真空阻挡件磁耦接至该第三被动转子磁耦合，且该第四被动转子磁耦合位于该真空阻挡件的该大气侧；及一第二回馈装置，用于监控机器人臂的第二轴的转动，该第二回馈装置耦接于该第四被动转子磁耦合且位于该真空阻挡件的该大气侧。根据申请专利范围第9项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子位于真空阻挡件的大气侧。根据申请专利范围第10项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子系垂直排列。根据申请专利范围第10项所述的多轴真空马达组合，其中该第一与第二定子直接固定于真空阻挡件上，而该第一定子及该第二定子与该真空阻挡件之间无空气间隙。根据申请专利范围第9项所述的多轴真空马达组合，其中第一定子与第一转子位于同一水平面内。根据申请专利范围第9项所述的多轴真空马达组合，其中第一定子、第二定子、第一回馈装置与第二回馈装置的排列不会伸入到真空室底部的下方。一种操作一机器人臂的方法，包括：提供一多轴真空马达组合，其包括：一第一转子；一第一定子，用于穿过一真空阻挡件与该第一转子磁耦合，从而控制在真空室内的机器人臂的第一轴的转动；一第二转子，位于该第一转子下方；一第二定子，位于第一定子下方且用于穿过该真空阻挡件与第二转子磁耦合，从而控制在该真空室内的机器人臂的第二轴的转动；一第一回馈装置，位于真空阻挡件的一大气侧且用于经由穿过真空阻挡件的一第一被动磁耦合来监控机器人臂的第一轴的转动，该第一被动磁耦合包括位于该真空阻挡件的一真空侧之一第一被动转子磁耦合，以及耦接至该第一回馈装置，且位于该真空阻挡件的该大气侧之一第二被动转子磁耦合；及一第二回馈装置，位于真空阻挡件的该大气侧且用于经由穿过真空阻挡件的被动磁耦合来监控机器人臂的第二轴的转动，该第二被动磁耦合包括位于该真空阻挡件的该真空侧之一第三被动转子磁耦合，以及位于该真空阻挡件的该大气侧，且耦接至该第二回馈装置之一第四被动转子磁耦合；及利用第一定子与第二定子来转动机器人臂的第一轴与第二轴从而伸长或收缩机器人臂。根据申请专利范围第15项所述的方法，其中该第一与第二定子位于真空阻挡件的大气侧。根据申请专利范围第16项所述的方法，其中该第一与第二定子系垂直排列。根据申请专利范围第16项所述的方法，其中该第一与第二定子系直接固定于真空阻挡件上，而该第一定子及该第二定子与该真空阻挡件之间无空气间隙。根据申请专利范围第15项所述的方法，其中第一定子、第二定子、第一回馈装置与第二回馈装置的排列不会伸入到真空室底部的下方。一种操作一机器人臂的方法，包括：提供一多轴真空马达组合，其包括：一第一转子；一第一定子，用于整流以穿过真空阻挡件转动第一转子及控制一真空室内的机器人臂的第一轴的转动；一第二转子，位于第一转子下方；一第二定子，位于第一定子下方且用于整流以穿过真空阻挡件转动第二转子及控制真空室内的机器人臂的第二轴的转动；一第一回馈装置，用于监控机器人臂的第一轴的转动；一第一被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的一真空侧；一第二被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的一大气侧且穿过该真空阻挡件磁耦接至该第一被动转子磁耦合，其中该第一回馈装置耦接至该第二被动转子磁耦合，且位于该真空阻挡件的该大气侧；及一第二回馈装置，用于监控机器人臂的第二轴的转动；一第三被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的该真空侧；一第四被动转子磁耦合，其位于该真空阻挡件的该大气侧且穿过该真空阻挡件磁耦接至该第三被动转子磁耦合，其中该第二回馈装置耦接至该第四被动转子磁耦合，且位于该真空阻挡件的该大气侧；以及将第一定子与第二定子整流来转动机器人臂的第一轴与第二轴从而伸长或收缩机器人臂。根据申请专利范围第20项所述的方法，其中该第一与第二定子位于真空阻挡件的大气侧。根据申请专利范围第21项所述的方法，其中该第一与第二定子系垂直排列。根据申请专利范围第21项所述的方法，其中该第一与第二定子系直接固定于真空阻挡件上，而该第一定子及该第二定子与该真空阻挡件之间无空气间隙。 |
