发明名称 |
基于环形微腔的微光纤电压传感器 |
摘要 |
本发明涉及一种采用微光机电系统技术设计的微型传感器,具体为一种利用高Q值的环形微腔加工成的基于环形微腔的微光纤电压传感器。解决了高Q值环形微腔在传感器领域的应用的问题。结构包括由硅柱支撑的平面环形微腔,和与平面环形微腔偶合的锥形光纤,平面环形微腔中部的微盘上设有铝质欧姆接触,在金属欧姆接触上植有两个钨极探针。本发明的优点正是采用日益成熟的MEMS加工工艺技术,以现有的物理知识为理论基础,将电压传感器朝微型化、集成化方向发展。彻底摆脱原有光纤电压传感器体积大、功耗高、受环境影响严重等限制。 |
申请公布号 |
CN101386403B |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN200810079408.7 |
申请日期 |
2008.09.13 |
申请人 |
中北大学 |
发明人 |
闫树斌;文丰;张彦军;张会新;张文栋;熊继军;姜国庆;王少辉;严英占;王宝花;吉喆;任小红 |
分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
山西太原科卫专利事务所 14100 |
代理人 |
朱源 |
主权项 |
一种基于环形微腔的微光纤电压传感器,其特征在于:结构包括由硅柱(5)支撑的平面环形微腔(3),和与平面环形微腔(3)耦合的锥形光纤(4),平面环形微腔(3)中部的微盘上设有铝质欧姆接触(2),在铝质欧姆接触上植有两个钨极探针(1),环形微腔直径在60um‑‑120um,环的直径在5um‑‑8um。 |
地址 |
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |