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发明名称
摘要
申请公布号	JP4694098(B2)	申请公布日期	2011.06.01
申请号	JP20030017106	申请日期	2003.01.27
申请人		发明人
分类号	H01L27/04;H01L27/08;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/092	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
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