气体分布板及具备气体分布板的处理室

摘要

本发明提供一种气体分布板及具备该气体分布板的处理室，可缩短制造时间，节省制造费用。该气体分布板包括：第一孔，形成于第一面侧；贯通孔，从第一孔延伸至作为第一面的相反面的第二面方向，并且在各第一孔上至少连结两个以上该贯通孔；以及至少一个第二孔，从所述贯通孔延伸至第二面，具有大于贯通孔的大小。如上所述，将第一孔做得较大，以使其与两个以上贯通孔共同连结，从而缩短了气体分布板的制造时间，节省制造费用。

主权项

一种气体分布板，其特征在于，包括：至少一个第一孔，形成于第一面侧；多个贯通孔，从所述第一孔向作为所述第一面的相反面的第二面方向延伸，并且在所述各个第一孔上连结有至少两个以上所述贯通孔；以及至少一个第二孔，从所述贯通孔延伸至所述第二面，并且以大于所述贯通孔的大小形成。