发明名称 |
制造Al<sub>x</sub>Ga<sub>(1-x)</sub>N单晶的方法、Al<sub>x</sub>Ga<sub>(1-x)</sub>N单晶和光学透镜 |
摘要 |
本发明提供一种通过以升华法生长AlxGa(1-x)N单晶(10)来制造AlxGa(1-x)N单晶(10)(其中0<x≤1)的方法,所述方法包括准备衬底的步骤、准备高纯度原料的步骤和升华原料以在所述衬底上生长所述AlxGa(1-x)N单晶(10)的步骤。所述AlxGa(1-x)N单晶(10)对波长为250至300nm的光显示2.4以上的折射率,并且对波长超过300nm并且短于350nm的光显示2.3以上的折射率,每个折射率都是在300K下测定的。 |
申请公布号 |
CN102084040A |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN200980125962.7 |
申请日期 |
2009.06.25 |
申请人 |
住友电气工业株式会社 |
发明人 |
荒川聪;樱田隆;山本喜之;佐藤一成;谷崎圭祐;中幡英章;水原奈保;宫永伦正 |
分类号 |
C30B29/38(2006.01)I;C30B23/06(2006.01)I;G02B1/02(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/38(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
陈海涛;樊卫民 |
主权项 |
一种制造AlxGa(1‑x)N单晶(10)的方法,所述AlxGa(1‑x)N(0<x≤1)单晶(10,12)是通过升华法生长的,所述方法包括下述步骤:准备底部衬底(11),准备高纯度原料(17),以及通过升华所述原料(17)而在所述底部衬底(11)上生长所述AlxGa(1‑x)N单晶(10,12)。 |
地址 |
日本大阪府 |