感测元件组件和方法

摘要

本文所描述的是电容压力传感器的感测元件组件以及用于制造该感测元件组件的方法，该感测元件组件在无附加尺寸的情况下具有提高的灵敏度。该感测元件组件和方法包括构造偏离中心的椭圆形中心电极、中心电极周围的至少一个椭圆形环状电极、接地电极以及用于将这些层熔合在一起以优化其灵敏度的方法。

主权项

一种用于电容传感器的传感器元件，包括：基底组件，包括：具有中心的基底，所述基底上具有第一导电端子的椭圆形的第一电极；围绕但不接触所述第一电极的基本椭圆环形的第二电极，并且所述第二电极具有第二导电端子；膜片组件，包括：膜片，所述膜片上具有接地导电端子的接地电极；其中所述基底组件被密封到所述膜片组件。