Vakuumpumpe

摘要

Eine Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe oder eine Multi-Inlet-Pumpe handelt, weist eine Rotorwelle (12) auf, die mindestens eine Rotoreinrichtung (14) trägt. Die Rotorwelle (12) ist druckseitig von einer Lageranordnung (56) und saugseitig von einer Lageranordnung (30) gelagert. Erfindungsgemäß weist die saugseitige Lageranordnung (30) ein elektromagnetisches Lager auf. Erfindungsgemäß weist die druckseitige Lageranordnung (56), um eine möglichst lange Rotorwelle (12) ausbilden zu können, ein Kugellager (58) auf. Dieses ist vorzugsweise durch das elektromagnetische Lager (30) vorgespannt.