用于电解沉积过程的电极组件

摘要

本发明涉及用于电解沉积过程的电极组件。一种用于电解沉积过程的电极组件。依照示例性实施例，该电极组件包括用于与溶液进行电流交换的电极，用于除去存积在工件和溶液之间的气体的通道，和用于将电极和工件绝缘的套管。

主权项

一种用于使用在涉及溶液和工件的电解沉积过程中的电极组件，所述电极组件包括：电极，所述电极与溶液进行电流交换；以及通道，所述通道随着电极延伸并且包括至少一个开口，其中，在电解沉积过程期间，存积在溶液和工件之间的气体通过所述开口逸出并在通道内行进。