| 发明名称 | 一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置及机台，该冷却装置包括：位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。该机台中包括该冷却装置。本实用新型提出的冷却装置及使用该冷却装置的机台，在气体到达压力表之前使用了冷却水管对排放尾气中的尾气进行冷却过滤，因此，避免了在压力表内产生沉积薄膜，提高了压力表的使用效率，延长了压力表的寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN201852673U | 申请公布日期 | 2011.06.01 |
| 申请号 | CN201020540488.4 | 申请日期 | 2010.09.25 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 胡生强 |
| 分类号 | G01L23/28(2006.01)I | 主分类号 | G01L23/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种避免在压力表中产生沉积物的冷却装置，其特征在于，包括：位于化学气相沉积机台的排气管和压力表之间的连接管中的冷却水管，以及与所述冷却水管连接的进水管和出水管。 | ||
| 地址 | 215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||