Loch-freies abgeschrägtes Heizelement für einen Phasenänderungsspeicher
摘要
Der hierin offenbarte Gegenstand betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer integrierten Halbleiter-Schaltkreisvorrichtung und insbesondere ein Verfahren zur Herstellung einer Phasenänderungsspeichereinheit.
申请公布号
DE102010060893(A1)
申请公布日期
2011.06.01
申请号
DE20101060893
申请日期
2010.11.30
申请人
CHA, SOONWOO;LEE, JINWOOK;LEE, JONG-WON;MINVIELLE, TIM
发明人
CHA, SOONWOO;LEE, JINWOOK;LEE, JONG-WON;MINVIELLE, TIM
