发明名称 Einstellung der Austrittsarbeit in Gate-Stapeln mit großemε, die Gatedielektrika mit unterschiedlicher Dicke enthalten
摘要
申请公布号 DE102009039418(A8) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 DE200910039418 申请日期 2009.08.31
申请人 GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MODULE ONE LTD. LIABILITYCOMPANY & CO. KG;GLOBALFOUNDRIES INC. 发明人 SCHEIPER, THILO;WEI, ANDY;TRENTZSCH, MARTIN
分类号 H01L21/8234;H01L21/283;H01L27/088 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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