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发明名称
Einstellung der Austrittsarbeit in Gate-Stapeln mit großemε, die Gatedielektrika mit unterschiedlicher Dicke enthalten
摘要
申请公布号
DE102009039418(A8)
申请公布日期
2011.06.01
申请号
DE200910039418
申请日期
2009.08.31
申请人
GLOBALFOUNDRIES DRESDEN MODULE ONE LTD. LIABILITYCOMPANY & CO. KG;GLOBALFOUNDRIES INC.
发明人
SCHEIPER, THILO;WEI, ANDY;TRENTZSCH, MARTIN
分类号
H01L21/8234;H01L21/283;H01L27/088
主分类号
H01L21/8234
代理机构
代理人
主权项
地址
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