一种制备铌溅射靶材的方法

摘要

本发明涉及一种制备铌溅射靶材的方法，其特征在于其制备过程的步骤依次包括：(1)将直径Φ300-330mm的铌锭，在900～1100℃温度下，挤压成直径为100-150mm的铌棒，控制挤压比大于7；(2)将铌棒加热至500～700℃均温后，使用空气锤镦锻整形为板坯，其中控制前两道次镦锻的加工率≥30％；(3)将板坯进行中间退火，退火温度为900～1100℃，保温时间为1-2h；(4)将退火后的板坯进行轧制，控制前两道次的加工率单道次大于35％，后续轧制加工率大于20％；(5)将轧制后的成品退火。本发明的方法，采用大加工率高温挤压，使铌棒挤压过程中发生动态再结晶，使晶粒充分破碎，降低铸锭芯部与边缘的晶粒大小差异，保证了晶粒取向一致，终获得70％以上的[111]型织构。

主权项

一种制备铌溅射靶材的方法，其特征在于其制备过程的步骤依次包括：(1)将直径Φ300‑330mm的铌锭，在900～1100℃温度下，挤压成直径为100‑110mm的铌棒，控制挤压比大于7；(2)将铌棒加热至500～700℃均温后，使用空气锤镦锻整形为板坯，其中控制前两道次镦锻的加工率≥30％；(3)将板坯进行中间退火，退火温度为900～1100℃，保温时间为1‑2h；(4)将退火后的板坯进行轧制，控制前两道次的加工率单道次大于35％，后续轧制加工率大于20％；(5)将轧制后的成品在850～950℃温度下退火，保温时间为1‑1.5h。