紫外传函仪用像分析器

摘要

本发明公开了一种紫外传函仪用像分析器，属于光学计量测试领域。该像分析器主要包括分析狭缝、中继光学系统、紫外滤光片、紫外光电倍增管和二维电动扫描平台。测试时，紫外滤光片插在中继光学系统的平行光路中，像分析器在二维电动扫描平台的带动下进行二维扫描，使被测紫外光学系统将紫外目标成像在分析狭缝的不同位置，每个扫描点上的紫外目标像经中继光学系统放大和紫外滤光片滤光后再成像在紫外光电倍增管的光敏面上，后者将紫外目标像转换成电信号后送入紫外传函仪的控制与数据处理系统。本发明实现了紫外传函仪所要求的像分析器，具有结构简单、测试精度高的特点。

主权项

一种紫外传函仪用像分析器，包括二维电动扫描平台[6]和三维手动可调平台[7]，其特征在于：还包括分析狭缝[1]、中继光学系统[2]、含有多个插拔紫外滤光片[3]的光学滤光器、紫外光电倍增管[4]和镜筒[5]；所述中继光学系统[2]由两个分离式正透镜组[2‑1、2‑2]构成且两个正透镜组[2‑1、2‑2]之间为平行光路，中继光学系统[2]的物方孔径角大于被测紫外光学系统的像方孔径角，中继光学系统[2]的第一正透镜组[2‑1]的物方焦点位于所述分析狭缝的中心，第二正透镜组[2‑2]的像方焦点位于紫外光电倍增管[4]的光敏面中心；所述镜筒[5]中部带有径向插槽，所述分析狭缝[1]、中继光学系统[2]和紫外光电倍增管[4]通过相应的光学支架固连在镜筒[5]中，其中一个紫外滤光片插在镜筒[5]的径向插槽内并位于所述中继光学系统[2]的平行光路中；二维电动扫描平台[6]固连在三维手动可调平台[7]上，所述镜筒[5]固连在二维电动扫描平台[6]上；当紫外传函仪工作时，所述二维电动扫描平台[6]在紫外传函仪控制与数据处理系统的控制下实现二维扫描运动，在不同的扫描点上，被测紫外光学系统将紫外传函仪中的紫外目标成像在分析狭缝[1]中的不同位置上，每个扫描点的紫外目标像经所述中继光学系统[2]放大和所述紫外滤光片[3]滤光后会聚到所述紫外光电倍增管[4]的光敏面上，紫外光电倍增管[4]实时对接收的各紫外光信号进行光电转换后送入紫外传函仪的控制与数据处理系统。