一种顶栅结构场致发射显示器后板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种顶栅结构场致发射显示器后板及其制作方法，按照以下步骤：(1)制作阴极；(2)制作下层SiO2绝缘层；(3)制作绝缘介质层；(4)制作上层SiO2绝缘层；(5)制作顶删极；(6)制作阴极发射体，完成后板的制作。本发明的改进印刷型场致发射显示器后板的制作工艺，提高了顶栅结构FED后板栅极与阴极之间的绝缘性能，保证整个场致发射显示器的可靠性和稳定性。

主权项

一种顶栅结构场致发射显示器后板的制作方法，其特征在于，按照以下步骤：1)、制作阴极：用去污粉和去离子水分别超声清洗玻璃基板(1)并用气枪吹干，然后用精密丝网印刷机在玻璃基板(1)上印刷阴极(2)，玻璃基板(1)上的印刷阴极(2)在100℃干燥20min后烧结，烧结温度为370℃，保温20min，570℃保温20min，升温速率5℃/min，得到阴极(2)；2)、制作下层SiO2绝缘层：利用磁控溅射法，用镍合金片制作掩膜，在阴极(2)上溅射SiO2膜，获得下层SiO2绝缘层(3)，下层SiO2绝缘层(3)厚度为200nm；3)、制作绝缘介质层：在下层SiO2绝缘层(3)上印刷绝缘介质层(4)，印刷好的绝缘介质层(4)在100℃干燥20min后烧结，烧结温度为370℃，保温20min，580℃保温20min，升温速率5℃/min，得到绝缘介质层(4)；4)、制作上层SiO2绝缘层：利用磁控溅射法，用镍合金片制作掩膜，在绝缘介质层(4)上溅射SiO2膜，获得上层SiO2绝缘层(5)，上层SiO2绝缘层(5)厚度为200nm；5)、制作栅极：在上层SiO2绝缘层(5)上印刷栅极(6)银浆料，印刷好的栅极(6)银浆料在100℃干燥20min后烧结，烧结温度为370℃保温20min，570℃保温20min，升温速率5℃/min，得到栅极(6)；6)、制作阴极发射体：碳纳米管、有机载体和金属填料混合均匀配制成浆料，浆料中碳纳米管的质量分数为8％‑20％，金属填料的质量分数为4％‑10％，余量为有机载体；将浆料印刷在阴极(2)上，并在120℃干燥20min后烧结，烧结温度为340℃保温20min，450℃保温20min，升温速率5℃/min，得到阴极发射体(7)，完成后板的制作。