正型感光性树脂组合物，固化膜，保护膜，绝缘膜以及使用它们的半导体装置，显示器装置

摘要

本发明的目的在于，提供一种不发生浮渣、高感光度且高分辨率的正型感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜及使用它们的半导体装置。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有：特定的聚酰胺系树脂(A)；由特定的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸及1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯的至少一者的酯所构成的感光剂(B)。又，本发明的固化膜的特征在于，由上述的正型感光性树脂组合物的固化物所构成。又，本发明的保护膜和绝缘膜的特征在于，由上述固化膜所构成。又，本发明的半导体装置及显示器装置的特征在于，具有上述的固化膜。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：聚酰胺系树脂(A)，具有通式(1)所示的重复单元；以及感光剂(B)，由通式(2)所示的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸的酯以及通式(2)所示的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯中的至少一者所构成，式(1)中，X、Y为有机基；R₁为羟基、-O-R₃、烷基、酰氧基或环烷基；R₂为羟基、羧基、-O-R₃或-COO-R₃；h为0～8的整数，i为0～8的整数；R₃为碳原子数1～15的有机基；在此，当R₁～R₃中的任一者为多个时，分别相同或相异；当作为R₁无羟基时，R₂中的至少一个必须为羧基；又，当作为R₂无羧基时，R₁中的至少一个必须为羟基，式(2)中，Z为有机基；R₄～R₇为氢原子或烷基；R₈～R₁₁为氢原子、羟基、卤原子、烷基、烷氧基、烯基或环烷基；j～m分别为0～4的整数；当R₈～R₁₁中的任一者为多个时，分别相同或相异。