发明名称 |
通过铝铸造制成的真空处理室 |
摘要 |
本发明提供一种通过铝铸造制成的真空处理室。所述真空处理室包括由壁界定并可被抽空的体积,所述壁是由铝通过铸造而制成,所述壁包括外表面及内表面,所述内表面面对所述体积,并且提供一种用于制造真空处理室的方法,其中所述壁的内表面通过研磨而变平滑并随后经过喷珠或喷丸处理。本发明通过该方法获得该真空处理室,以改善真空处理室的壁的内表面。 |
申请公布号 |
CN102080205A |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN201010547871.7 |
申请日期 |
2010.11.05 |
申请人 |
欧瑞康太阳能(处贝区市)公司 |
发明人 |
E·伊林奇;E·德巴希欧;D·埃伦斯伯格 |
分类号 |
C23C14/00(2006.01)I;C23C16/00(2006.01)I;C22F1/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
任永武 |
主权项 |
一种用于制造真空处理室的方法,所述真空处理室包括由壁界定并可被抽空的体积,所述壁是由铝通过铸造而制成,所述壁包括外表面及内表面,所述内表面面对所述体积,其特征在于,所述壁的所述内表面通过研磨而变平滑,并随后经过喷珠或喷丸处理。 |
地址 |
瑞士忒瑞布巴赫 |