探针装置

摘要

本发明提供一种探针装置。该探针装置尽可能地减小探针相对于探针支架的位移量之差而能够进行正确的测试。探针装置包括探针组装体，该探针组装体包括多个探针、及将这些探针配置成使其针区域相对并在左右方向上隔开间隔并沿前后方向延伸的状态的探针支架。上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。

主权项

一种探针装置，包括探针组装体，该探针组装体包括：多个探针，该探针具有针中央区域；以及探针支架，在该探针支架上，使上述针中央区域相对并在左右方向上隔开间隔地配置有多个上述探针；上述探针支架和上述探针中的任一者包括：第1部位，其朝下；以及第2部位，其朝前；上述探针支架和上述探针中的另一者包括：第3部位，其朝上，并能够与上述第1部位抵接；以及第4部位，其朝后，并能够与上述第2部位抵接。