发明名称 |
Z轴电容式加速度计 |
摘要 |
本实用新型涉及一种Z轴电容式加速度计,其包括电容感应极板、驱动质量块以及连接梁。其中电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板,驱动质量块和电容感应极板相互分离,正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧。当驱动质量块转动时,电容感应极板通过连接梁随之转动。本实用新型涉及的Z轴电容式加速度计,通过采用驱动质量块和电容感应极板相互分离的设计,有效增大了电容感应极板相对于其转动轴的距离,从而有效提高测量Z轴方向加速度的灵敏度。 |
申请公布号 |
CN201852852U |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN201020617239.0 |
申请日期 |
2010.11.19 |
申请人 |
美新半导体(无锡)有限公司 |
发明人 |
蒋乐跃;周汉秦 |
分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/125(2006.01)I |
代理机构 |
无锡互维知识产权代理有限公司 32236 |
代理人 |
王爱伟 |
主权项 |
一种Z轴电容式加速度计,其包括电容感应极板、驱动质量块,所述电容感应极板包括正电容感应极板和负电容感应极板,其特征在于:其还包括有连接梁,所述驱动质量块和电容感应极板相互分离,正电容感应极板和负电容感应极板分别位于驱动质量块的两侧;当驱动质量块转动时,所述电容感应极板通过所述连接梁随之转动。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新辉环路2号 |