静电容量检测型的可动传感器

摘要

本发明提供一种薄型且小型并能够高精度地检测可动部的移动量的可动传感器。第一可动部(2)和第二可动部(4)通过连结连杆部(10a)和支承连杆部(20a)连结，以如果第一可动部(2)接近固定部(50)则第二可动部(4)离开固定部(50)的方式进行动作。在固定部(50)上设有第一固定电极(51)和第二固定电极(52)，在第一可动部(2)的表面(2a)上设置与第一固定电极(51)相对向的第一可动电极，在第二可动部(4)的表面(4a)上设置与第二固定电极(52)相对向的第二可动电极。由于第一可动部(2)和第二可动部(4)反向移动，因此通过求出第一固定电极(51)和第一可动电极之间的静电容量的变化、与第二固定电极(52)和第二可动电极之间的静电容量的变化之差，而能够检测第一可动部(2)的移动状态。

主权项

一种可动传感器，在可动部和固定部设置彼此相对向的电极，并检测所述可动部接近或离开所述固定部时的所述电极间的静电容量的变化，所述可动传感器的特征在于，具有第一可动部及第二可动部和与所述两可动部分别连结成转动自如的连杆部，所述连杆部在与所述第一可动部的连结部和与所述第二可动部的连结部之间设定有支点，所述连杆部以所述支点为中心转动时，能够以使所述第一可动部和所述第二可动部的一方接近固定部且使另一方离开所述固定部的方式进行动作，在所述第一可动部及所述第二可动部的朝向各可动部的相同方向的面上分别设置第一可动电极及第二可动电极，在所述固定部设置与所述第一可动电极相对向的第一固定电极和与所述第二可动电极相对向的第二固定电极。