用于制备光可交联组合物的方法

摘要

本发明涉及可通过包括以下步骤的方法制备的光交联组合物：(a)[(环氧基环烷基)烷基]三烷氧基硅烷在pH 1.6-4.0的、含有水/单体初始摩尔比为3至15的水和至少一种与水可混溶性溶剂的有机水性介质中的溶液中，通过加热溶液至50-70℃180-350分钟进行水解和缩合反应，以获得有机-无机杂合预聚物的溶液，其中所有的或几乎所有的烷氧基硅烷基团水解，并且其包含平均至少4个(环氧基环烷基)烷基基团；(b)将所得的聚环氧化物预聚物组合物冷却至15至25℃的温度；(c)向该组合物中加入至少一种阳离子聚合反应光引发剂和至少一种最大吸收波长为300至420nm的光敏剂，并任选加入表面活性剂；(d)在15至25℃的温度下搅拌所得组合物10至120分钟；(e)所得组合物经过滤孔平均大小1μm至5μm的过滤器过滤，以及(f)将所得液体滤液在低于0℃，优选在-20℃至-10℃下保存。本发明还涉及所述光交联组合物在光刻方法中用作负性光敏树脂的用途。

主权项

光可交联组合物的制备方法，包括以下步骤：(a)[(环氧基环烷基)烷基]三烷氧基硅烷在含有水/单体的初始摩尔比为3至15的水和至少一种与水可混溶的溶剂的有机水性介质的溶液中，在pH1.6至4.0，优选1.6至3.0下，通过在50至70℃的温度下加热溶液180至350分钟进行水解和缩合反应，从而获得有机无机杂合预聚物的溶液，其中所有的或几乎所有的烷氧基硅烷基团均水解，并且其包含每分子平均至少4个(环氧基环烷基)烷基基团，优选4至10个(环氧基环烷基)烷基基团，(b)将所得的聚环氧化物预聚物组合物冷却至15至25℃的温度，(c)向该组合物中加入至少一种阳离子聚合反应光引发剂和至少一种最大吸收波长为300至420nm的光敏剂，并加入表面活性剂，(d)在15至25℃的温度下搅拌所得组合物10至120分钟，优选搅拌20至40分钟，(e)将所得组合物经过过滤器过滤，所述过滤器包含平均大小为1μm至5μm的孔，以及(f)将所得液体滤液在低于0℃，优选在‑20℃至‑10℃的温度下保存。