发明名称 SnO2-BASED SPUTTERING TARGET AND SPUTTERED FILM
摘要
申请公布号 KR101038244(B1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 KR20087020430 申请日期 2008.03.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C04B35/457;C23C14/08;H01B5/14 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址