| 发明名称 | 薄膜片状基板的掩膜清洗烘干工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜片状基板的掩膜清洗烘干工艺，按如下步骤进行：a.滚刷：利用毛刷对基板掩膜层进行滚动刷洗；b.二流体喷洗：气水均匀混合喷射到基板表面进行清洗；c.纯水喷淋：水均匀喷射到基板表面进行清洗；d.海绵吸水：基板两面同时被海绵滚轮滚压吸水；e.风刀风干：通过热风形成风刀连续风干基板表面。采用滚刷后进行喷洗的方式，具有更强的去污能力及去污范围，有效提高了产品清洁质量；海绵吸水后进风刀风干，热风形成风刀相对烤箱的升降温及时间控制而言更易控制，且连续风干更易实现批量生产，节约了生产时间和能源消耗。 | ||
| 申请公布号 | CN102078866A | 申请公布日期 | 2011.06.01 |
| 申请号 | CN200910233138.5 | 申请日期 | 2009.11.26 |
| 申请人 | 昆山厚声电子工业有限公司 | 发明人 | 王毅;冯会军;刘冰芝;张军会;赵武彦;彭荣根;张明华 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人 | 盛建德 |
| 主权项 | 一种薄膜片状基板的掩膜清洗烘干工艺，其特征在于：按如下步骤进行：a.滚刷：利用毛刷对基板掩膜层进行滚动刷洗；b.二流体喷洗：气水均匀混合喷射到基板表面进行清洗；c.纯水喷淋：水均匀喷射到基板表面进行清洗；d.海绵吸水：基板两面同时被海绵滚轮滚压吸水；e.风刀风干：通过热风形成风刀连续风干基板表面。 | ||
| 地址 | 215301 江苏省昆山市经济技术开发区夏驾北路21号 | ||