用于检测等离子体处理室中的等离子体不稳定的无源电容耦合静电(CCE)探针装置

摘要

提供一种用于检测衬底处理过程中等离子体处理系统的处理室内的等离子体不稳定的装置。该装置包含探针装置，其中所述探针装置设置于所述处理室的表面上并被配置为测量至少一个等离子体处理参数。所述探针装置包括面向等离子体的传感器和测量用电容器，其中所述面向等离子体的传感器耦合于所述测量用电容器的第一板。该装置还包括检测装置，所述检测装置耦合于所述测量用电容器的第二板。所述检测装置被配置为将流过所述测量用电容器的感应电流转换为一组数字信号，该组数字信号被处理以检测所述等离子体不稳定。

主权项

一种用于检测衬底处理过程中等离子体处理系统的处理室内的等离子体不稳定的装置，包含：探针装置，其中所述探针装置设置于所述处理室的表面上并被配置为测量至少一个等离子体处理参数，其中所述探针装置包括面向等离子体的传感器，以及测量用电容器，其中所述面向等离子体的传感器耦合于所述测量用电容器的第一板；以及检测装置，所述检测装置耦合于所述测量用电容器的第二板，其中所述检测装置被配置为将流过所述测量用电容器的感应电流转换为一组数字信号，该组数字信号被处理以检测所述等离子体不稳定。