发明名称 非晶态氧化物半导体材料、场效应晶体管和显示装置
摘要 本发明提供一种非晶态氧化物半导体材料,场效应晶体管和显示装置。所述非晶态氧化物半导体材料包含含有In、Ga和Zn的非晶态氧化物半导体,其中当In∶Ga∶Zn=a∶b∶c表示所述氧化物半导体的元素组成比时,所述元素组成比由下列范围限定:a+b=2,并且b<2,并且c<4b-3.2,并且c>-5b+8,并且1≤c≤2。
申请公布号 CN102082170A 申请公布日期 2011.06.01
申请号 CN201010255843.8 申请日期 2010.08.16
申请人 富士胶片株式会社 发明人 滨威史;铃木真之;田中淳;望月文彦
分类号 H01L29/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L29/12(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 陈平
主权项 一种非晶态氧化物半导体材料,所述非晶态氧化物半导体材料包含含有In、Ga和Zn的非晶态氧化物半导体,其中当In∶Ga∶Zn=a∶b∶c表示所述氧化物半导体的元素组成比时,所述元素组成比由下列范围限定:a+b=2,并且b<2,并且c<4b‑3.2,并且c>‑5b+8,并且1≤c≤2。
地址 日本国东京都