发明名称 |
非晶态氧化物半导体材料、场效应晶体管和显示装置 |
摘要 |
本发明提供一种非晶态氧化物半导体材料,场效应晶体管和显示装置。所述非晶态氧化物半导体材料包含含有In、Ga和Zn的非晶态氧化物半导体,其中当In∶Ga∶Zn=a∶b∶c表示所述氧化物半导体的元素组成比时,所述元素组成比由下列范围限定:a+b=2,并且b<2,并且c<4b-3.2,并且c>-5b+8,并且1≤c≤2。 |
申请公布号 |
CN102082170A |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN201010255843.8 |
申请日期 |
2010.08.16 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
滨威史;铃木真之;田中淳;望月文彦 |
分类号 |
H01L29/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/12(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
陈平 |
主权项 |
一种非晶态氧化物半导体材料,所述非晶态氧化物半导体材料包含含有In、Ga和Zn的非晶态氧化物半导体,其中当In∶Ga∶Zn=a∶b∶c表示所述氧化物半导体的元素组成比时,所述元素组成比由下列范围限定:a+b=2,并且b<2,并且c<4b‑3.2,并且c>‑5b+8,并且1≤c≤2。 |
地址 |
日本国东京都 |