金属蒸发设备

摘要

本发明公开了一种金属蒸发设备，该设备的腔体内包括坩埚盖板和坩埚，该设备还包括：转轴，贯穿该设备的腔体内外，且与所述坩埚连接在一起；盖板冷却管道，有部分埋设在所述坩埚盖板的内部；坩埚冷却管道，全部埋设在所述转轴和坩埚的内部，在转轴表面的入水口和出水口均在该设备的腔体外。本发明采用磁流体密封和传统的橡胶密封环相结合，实现了金属蒸发设备的腔体内的真空密封。本发明还对坩埚和坩埚盖板的冷却水系统进行分离设计，并将坩埚的冷却水系统与转轴之间的密封结构置于真空腔体之外，这样即使冷却水发生泄漏也不会对腔体的真空度造成影响，提高了设备的可靠性。

主权项

一种金属蒸发设备，该设备的腔体内包括坩埚盖板和坩埚，其特征是：该设备还包括：转轴，贯穿该设备的腔体内外，且与所述坩埚连接在一起；盖板冷却管道，部分埋设在所述坩埚盖板的内部；坩埚冷却管道，全部埋设在所述转轴和坩埚的内部，在转轴表面的入水口和出水口均在该设备的腔体外；转轴套，所述转轴套与该设备的腔体壁连接在一起，且包围所述转轴在该设备腔体外的部分；所述坩埚冷却管道在转轴表面的入水口和出水口均为环状沟槽。