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发明名称 STROMVERSORGUNGSVORRICHTUNG ZUM SPUTTERN UND SPUTTERVORRICHTUNG, DIE DIESE VERWENDET
摘要
申请公布号 DE69842229(D1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 DE19986042229 申请日期 1998.02.19
申请人 SHIBAURA MECHATRONICS CORP. 发明人 KURIYAMA, NOBORU;YATSU, YUTAKA;UTSUNOMIYA, NOBUAKI;YASUMOTO, YUJI
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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