| 发明名称 |
Verfahren zum Ätzen von Siliziumoberflächen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102009028762(A8) |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
| 申请号 |
DE20091028762 |
申请日期 |
2009.08.20 |
| 申请人 |
RENA GMBH |
发明人 |
EL JAOUHARI, AHMED ABDELBAR;SCHWECKENDIEK, JUERGEN |
| 分类号 |
H01L21/306;C23F1/00;C23F1/40;C23F1/42 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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