发明名称 |
硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺 |
摘要 |
本发明属于多晶硅技术领域,具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去,硅甲烷属特种气体,一般用于科学研究,需求量不大,目前,随着太阳能产业的迅猛发展,硅甲烷不仅提出了纯度的要求,而且需求量日益增大,传统小规模制取硅甲烷工艺操作复杂,成本高,生产效率低,反应放出的热不能及时散去造成工艺安全低下,且在原料流加中造成硅烷和氨的泄露,污染环境。本发明通过纯化制备硅甲烷气体,且对生产中产生的副产物进行综合回收,实现真正意义上的循环无污染生产。本发明能实现连续化生产,使自动化程度高,清洁无泄漏,安全可靠,操作方便,维护简单的硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。 |
申请公布号 |
CN101659414B |
申请公布日期 |
2011.06.01 |
申请号 |
CN200910023946.9 |
申请日期 |
2009.09.17 |
申请人 |
西安航天华威化工生物工程有限公司 |
发明人 |
范清春;郭建全;杨鹏;赵仕哲;郭浩;刘建锋;尚立伟 |
分类号 |
C01B33/04(2006.01)I;C01C1/12(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/04(2006.01)I |
代理机构 |
西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 |
代理人 |
李罡 |
主权项 |
硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺,其特征在于采用两段工艺进行硅甲烷‑40℃条件下的低温生产纯化并进行副产物的综合回收;(1)反应提纯段:该段核心设备为反应釜(25),将质量比为1∶3.1的硅化镁与氯化铵的混合物通过加料斗(27)添加,反应产物通过氨回流冷凝器(26)冷凝回流进行初步纯化,反应釜‑40℃低温环境冷量由双级氨冷机(24)提供;(2)副产物回收段:该段核心设备为氯化镁干燥器(29),反应后得到的副产物在氯化镁干燥器(29)中经过液固分离后,液氨进入液氨缓冲罐(32)得到回收,剩余液固混合物经蒸发,蒸汽通过填料塔(36)过滤后进入隔膜压缩机(35)液化,经液氨冷凝器(37)进入液氨储罐(33)而得到回收。 |
地址 |
710100 陕西省西安市南郊航天城宇航街 |