外延迁移堆栈和方法

摘要

本发明的实施方案通常涉及外延迁移(ELO)薄膜和器件，以及用来形成这类膜和器件的方法。ELO薄膜通常包括外延生长层，其在配置于基底例如晶片之上或上方的牺牲层上形成。支撑柄可配置在除了基底外的外延材料的相对侧上。支撑柄可例如通过给外延材料提供压缩来稳定外延材料。此外，在ELO工艺的蚀刻和移除步骤期间，支撑柄可用于抓紧以及支撑住外延材料。在不同实施方案中，支撑柄可包括预先弯曲的柄、多层柄、非均匀蜡柄和两个收缩诱发柄，其普通地或单向地收缩，以给外延材料提供压缩。

主权项

一种用于在外延迁移工艺期间形成薄膜材料的方法，包括下列步骤：在基底上的牺牲层上方形成外延材料；将压平的预先弯曲的支撑柄黏合至所述外延材料之上，其中所述压平的预先弯曲的支撑柄通过压平弯曲的支撑材料而形成，且所述压平的预先弯曲的支撑柄承受张力，而所述外延材料受到压缩；在蚀刻工艺期间移除所述牺牲层；以及从所述基底剥离所述外延材料，同时在其间形成蚀刻裂缝，以及使所述压平的预先弯曲的支撑柄弯曲，以具有相当大的曲率。