用于化学气相沉积反应器的方法和设备

摘要

本发明的实施方案通常涉及化学气相沉积系统及相关的使用方法。在一个实施方案中，该系统包括：反应器盖组件，其具有主体；轨道组件，其具有主体和沿着主体设置的导引路径；及加热组件，其可操作为在基体沿着导引路径移动时加热基体。盖组件的主体和轨道组件的主体结合在一起，以形成配置为容纳基体的间隙。在另一实施方案中，使用所述化学气相沉积系统在基体上形成层的方法包括：将基体引入导引路径；当基体沿着导引路径移动时，在基体上沉积第一层和在基体上沉积第二层；及防止第一沉积步骤和第二沉积步骤之间的气体混合。

主权项

一种化学气相沉积反应器，包括：盖组件，其具有主体；轨道组件，其具有主体和导引路径，所述导引路径沿着所述主体的纵轴设置，其中所述盖组件的所述主体和所述轨道组件的所述主体结合在一起，以在其间形成间隙，所述间隙配置为容纳基体；以及加热组件，其包括多个加热灯，所述加热灯沿着所述轨道组件配置，并可操作为在所述基体沿着所述导引路径移动时加热所述基体。