| 发明名称 | 投影物镜波像差测量装置和方法 | ||
| 摘要 | 一种物镜波像差测量装置，包括：光源；物面标记，其能对光源发出的光进行衍射；投影物镜，用于对物面标记进行成像；像面标记，其结构与物面标记相同，其尺寸基于物镜倍率与物面标记的尺寸相匹配，物面标记通过投影物镜成像于像面标记上；光电探测器，其接收像面标记处产生的二次衍射光在远场产生的干涉条纹，光源发出的光经物面标记衍射后的衍射光的衍射级次缺失至少一级。 | ||
| 申请公布号 | CN102081308A | 申请公布日期 | 2011.06.01 |
| 申请号 | CN200910199597.6 | 申请日期 | 2009.11.27 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 王帆;马明英 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种物镜波像差测量装置，包括：光源；物面标记，其能对光源发出的光进行衍射；投影物镜，用于对物面标记进行成像；像面标记，其结构与物面标记相同，其尺寸基于物镜倍率与物面标记的尺寸相匹配，物面标记通过投影物镜成像于像面标记上；光电探测器，其接收像面标记处产生的二次衍射光在远场产生的干涉条纹，其特征在于，光源发出的光经物面标记衍射后的衍射光的衍射级次缺失至少一级。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||