| 发明名称 | 一种DLC/TiAlN/CrN/Cr多层超硬膜涂层及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于汽车发动机活塞环表面处理的类金刚石/氮化铝钛/氮化铬/铬(DLC/TiAlN/CrN/Cr)多层超硬膜涂层，该多层超硬膜涂层采用多弧离子镀与磁控溅射相结合技术制备而得，制备的多层超硬膜厚度在5～20μm(微米)之间，涂层硬度大于40GPa。 | ||
| 申请公布号 | CN102080207A | 申请公布日期 | 2011.06.01 |
| 申请号 | CN201010608461.9 | 申请日期 | 2010.12.25 |
| 申请人 | 深圳市广大纳米工程技术有限公司 | 发明人 | 韩培刚 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一DLC/TiAlN/CrN/Cr多层超硬膜涂层的制备方法，其特征在于，包括：步骤1：在基体上制得厚度为0.1～0.5μm的金属Cr层；步骤2：在上述步骤1制得的该Cr层上进一步制得厚度为0.1～0.5μm的CrN层；步骤3：在上述步骤2所制得该CrN层上进一步制得厚度为0.1～0.5μm的TiAlN层；步骤4：依次周期性重复该步骤1到该步骤3制得厚度为0.5～1μm的该TiAlN/CrN/Cr多层涂层；和步骤5：在该步骤4所得到的该TiAlN/CrN/Cr多层涂层上进一步制得厚度为0.2～1.0μm的DLC膜。 | ||
| 地址 | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城工业园2号楼202室 | ||