生化感测装置及其制造方法

摘要

一种生化感测装置及其制造方法，其中该装置包括：一第一半导体层，位于一内连结构之上；多个感测元件，设置于第一半导体层内；一光学滤光层，形成于第一半导体层之上并实体接触第一半导体层；一第二半导体层，设置于光学滤光层之上，具有相对的第一表面与第二表面，其中第一表面实体接触光学滤光层；多个隔离墙，形成于第二半导体层的第二表面上，并在第二半导体层上定义形成了多个微阱区，其中多个隔离墙与第二半导体层包括相同材料，且多个微阱区与多个感测元件对应地设置；一固定层，设置在为多个微阱区所露出的第二半导体层上；以及多个捕捉分子，形成于多个微阱区内的固定层上。本发明具有较坚固的微阱区结构及较高的荧光收集效率。

主权项

一种生化感测装置，包括：一内连结构；一第一半导体层，位于该内连结构之上；多个感测元件，设置于该第一半导体层内；一光学滤光层，形成于该第一半导体层之上并实体接触该第一半导体层；一第二半导体层，设置于该光学滤光层之上，具有相对的第一表面与第二表面，其中该第一表面实体接触该光学滤光层；多个隔离墙，形成于该第二半导体层的该第二表面上，并在该第二半导体层上定义形成了多个微阱区，其中所述多个隔离墙与该第二半导体层包括相同材料，且所述多个微阱区与所述多个感测元件是对应地设置；一固定层，设置在为所述多个微阱区所露出的该第二半导体层上；以及多个捕捉分子，形成于所述多个微阱区内的该固定层上。