数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构

摘要

一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，有向主轴机构供油的第一供油系统，向主轴结构中的前定心静压轴承供油的第二供油系统；主轴结构有主轴、套在主轴前端的前定心动静压轴承套、套在主轴后端的后定心动静压轴承套和设置在主轴前端设定位置的静压止推轴承及法兰构成；前定心动静压轴承套和后定心动静压轴承套的内周面上均布有四个承压槽和四个回油槽，后定心动静压轴承套的四个承压槽由第一供油系统供油，前定心动静压轴承套的垂直方向的两个承压槽由第一供油系统供油，而水平方向的两个承压槽分别由第一供油系统和第二供油系统供油；前定心动静压轴承套和后定心动静压轴承套的四个回油槽均与油箱相通；静压止推轴承由第一供油系统供油。

主权项

一种数字式电液伺服泵控制的超精密动静压轴承及超微进给机构，包括有分别通过9个小孔节流器（2）向主轴机构（3）供油的第一供油系统（1），其特征在于，还设置有向主轴结构（3）中的前定心静压轴承（B）供油的第二供油系统（16）；所述主轴结构（3）是由主轴（4）、套在主轴（4）前端的前定心动静压轴承套（8）、套在主轴（4）后端的后定心动静压轴承套（11）和设置在主轴（4）前端设定位置的静压止推轴承（6）及法兰（5）构成；所述前定心动静压轴承套（8）和后定心动静压轴承套（11）的内周面上各设置有均布的四个承压槽（12）和四个回油槽（13），后定心动静压轴承套（11）的四个承压槽（12）由所述第一供油系统（1）通过四个节流器（2）供油，所述前定心动静压轴承套（8）的垂直方向的两个承压槽（12）由所述第一供油系统（1）通过节流器（2）供油，而水平方向的两个承压槽（12）中的一个由第二供油系统（16）供油，另一个仍由第一供油系统（1）通过节流器（2）供油；所述的前定心动静压轴承套（8）和后定心动静压轴承套（11）的四个回油槽（13）均与油箱（14）相通；所述的静压止推轴承（6）经由小孔节流器（2）由第一供油系统（1）供油。