一种具有纳米SiC薄膜的压力传感器的制备方法

摘要

本发明涉及压力传感器的设计与制造领域，公开了一种具有纳米SiC薄膜的压力传感器的制备方法，具体包括以下步骤：a、制备纳米SiC浆料；b、制备阴极发射板；c、制备发射器件；d、构成传感器。本发明采用丝网印刷制备纳米SiC薄膜，制作成本低，得到纳米SiC薄膜面积大、均匀，制作的传感器灵敏度高、稳定性好、使用寿命长。

主权项

一种具有纳米SiC薄膜的压力传感器的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：a、制备纳米SiC浆料首先，分别研磨纳米SiC、纳米石墨，散开其团聚体，再将纳米石墨、纳米SiC、乙基纤维素按重量比用4∶7∶8比例混合作为溶质，按重量比1∶5至1∶9将溶质加入松油醇溶剂中，加热到340‑380K温度充分搅拌，超声分散3‑5小时，然后过400‑450目筛，最后自然冷却至室温，得纳米SiC浆料待用；b、制备阴极发射板首先，选择300‑350目的金属丝网或涤纶丝网，将纳米SiC浆料丝网印刷在基板上，再进行热烧结处理，然后在退火炉中，在氮气保护下，在温度为550K‑580K、时间为15‑20min条件下进行退火，最后自然冷却室温，即得具有纳米SiC薄膜的阴极发射板；c、制备发射器件首先，在阴极发射板的基板上未涂布SiC层的边沿部分粘贴弹性绝缘筒，弹性绝缘筒上粘贴与基板平行的盖板，基板、弹性绝缘筒、盖板构成密闭腔体，并抽真空，然后，在盖板和基板上分别引出正、负极引线；d、构成传感器在发射器件的正、负极接入恒压电源，恒压电源的负极和发射器件的负极之间接入电流表，所述电流表的电流值表征作用于盖板与基板上的压力值。