一种静电吸盘的清洗方法

摘要

本发明提供了一种静电吸盘的清洗方法，该静电吸盘正面中部具有一凸部，该凸部上具有多个吸脚。现有技术因无合适的清洗方法致使静电吸盘出现氦气背压报警而使设备宕机。本发明的方法先提供一具有用于支撑静电吸盘的边沿的支撑部及用于容纳该凸部的容置空间的清洗装置；然后将静电吸盘凸部朝下放置在该清洗装置中；接着在该清洗装置中注入去离子水至少使该吸脚完全浸没在去离子水中；之后将该静电吸盘在该清洗装置中浸泡一第一预定时间；接着将该静电吸盘从清洗装置中取出，并反复用无尘布擦拭和用去离子水冲洗该凸部表面直至其干净；最后将该静电吸盘吹干并放置在烘烤设备中进行一第二预定时间的烘烤。采用本发明的方法可将静电吸盘彻底清洗干净。

主权项

一种静电吸盘的清洗方法，该静电吸盘装配在干法刻蚀刻蚀机中且用于承载工件，该静电吸盘用于承载工件的正面中部具有一凸部，该凸部上设置有多个吸脚，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)提供一清洗装置，该清洗装置具有用于支撑静电吸盘的边沿的支撑部以及用于容纳该凸部的容置空间；(2)将静电吸盘凸部朝下放置在该清洗装置中，其中，该静电吸盘的边沿放置在该支撑部上，该凸部放置在该容置空间中；(3)在该容置空间中注入去离子水至少使该吸脚完全浸没在去离子水中；(4)将该静电吸盘在该清洗装置中浸泡一第一预定时间，所述第一预定时间范围为4至5小时；(5)将该静电吸盘从清洗装置中取出且反复用无尘布擦拭和用去离子水冲洗该凸部表面，直至将其表面清洗干净；(6)将该静电吸盘吹干并放置在烘烤设备中进行一第二预定时间的烘烤。