发明名称 Integration einer automatisierten Kryopumpensicherheitsspülung
摘要
申请公布号 DE602004032399(D1) 申请公布日期 2011.06.01
申请号 DE200460032399T 申请日期 2004.06.09
申请人 BROOKS AUTOMATION INC. 发明人 AMUNDSEN, PAUL E;BUONPANE, MAUREEN;ANDREWS, DOUG;JACOBS, JORDAN
分类号 F04B37/08;F04B49/06 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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