发明名称 Method and Apparatus for Forming Crystallized Semiconductor Layer, and Method for Manufacturing Semiconductor Apparatus
摘要
申请公布号 KR101037840(B1) 申请公布日期 2011.05.31
申请号 KR20040041566 申请日期 2004.06.03
申请人 发明人
分类号 G02F1/1345;H01L29/786;B23K26/00;G02F1/1368;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324;H01L21/335;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
主权项
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