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发明名称 ANTENNA FOR PLASMA
摘要
申请公布号 KR101038204(B1) 申请公布日期 2011.05.31
申请号 KR20040012758 申请日期 2004.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23C16/00;C23C16/513;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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