USO DE UN SUSTRATO COMO DETECTOR DE SUSTANCIAS DOPANTES.

摘要

Uso de un sustrato con una superficie terminada con hidrógeno (H), para la detección selectiva de al menos una de las sustancias dopantes químicas B2H 6, PH 3, AsH 3 en un gas, en donde el sustrato está hecho de un material no conductor con una conductividad superficial presente o está hecho de un material semiconductor.