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发明名称
MASS FLOW CONTROLLER USING PRESSURE VALIDATION OF THERMAL FLOW SENSORS
摘要
申请公布号
KR20110056543(A)
申请公布日期
2011.05.30
申请号
KR20117008488
申请日期
2009.09.23
申请人
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC.
发明人
MCDONALD MIKE;DILLON STEVE
分类号
G01F1/86;G01F1/36;G01F1/50;G05D7/00
主分类号
G01F1/86
代理机构
代理人
主权项
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