| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20110056493(A) |
申请公布日期 |
2011.05.30 |
| 申请号 |
KR20117004254 |
申请日期 |
2009.10.01 |
| 申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
HATA MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/331;H01L29/737 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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